Mikrosystemtechnik: Konzepte und Anwendungen

Die wirtschaftliche Bedeutung der Mikrosystemtechnik hat in den letzten Jahren stark zugenommen. Nach mehr grundlegenden Arbeiten in den 80er Jahren haben ab Anfang dieses Jahrzehnts zun?chst gro?e Unternehmen die M?glichkeiten dieser neuen Technik erkannt und genutzt. Heute arbeiten aber bereits auch viele kleine und mittelst?ndische Unternehmen auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik. Zur erfolgreichen Nutzung der Vorteile der Mikrosystemtechnik ben?tigt der Ingenieur ein fundiertes Grundwissen in den verschiedenen Disziplinen der Mikrosystemtechnik wie Elektronik, Mechanik, Optik, Herstellungsverfahren, Systemtheorie und gleichzeitig f?r die praktische Anwendung unverzichtbares Wissen in Spezialbereichen. Das vorliegende Buch m?chte beiden Anforderungen gerecht werden. Neben grundlegenden Konzepten der Mikrosystemtechnik werden daher immer auch detailliert Realisierungsbeispiele von Mikrosystemen beschrieben. Zahlreiche ?bungsaufgaben am Ende eines jeden Kapitels dienen dabei der Selbstkontrolle, aber auch der Festigung des behandelten Stoffes. Das Buch wendet sich an Studierende der Elektrotechnik und der Physik mit dem Schwerpunkt Mikrosystemtechnik. Auch der Praktiker aus der Industrie kann zahlreiche interessante Informationen aus diesem Buch entnehmen.